方維倫 清華講座教授
Micro Sensors
Micro Actuators
Micro Testing Technologies

王威智 教授
THz and IR photonics
Amorphism&Metamorphose
Medical Devices

李明蒼 教授 & 副系主任& 科儀中心主任
Heat and Mass Transfer
Renewable Energy
Laser Microfabrication

李銘晃 副教授
Piezoelectric devices
Ultrasonic transducers
RF MEMS circuit design

陳榮順 特聘教授
MEMS
Microsystems
Control

張禎元 清華講座教授
Mechanical Vibrations
Mechatronics
Robotics

曹哲之 副教授
Design and Manufacturing
Multi-disciplinary System
Volumetric 3D Display

葉哲良 清華講座教授
Solar Energy
Optofluidics
Ambient Sensors

劉通敏 清華講座教授
Combustion
Biological Flows
Laser-Based Diagnostics

蔡宏營 清華講座教授 & 國家實驗研究院院長
Nano/Micro Fabrication
Brittle Materials Processing
Patent Analysis

賴梅鳳 教授
NEMS Structures
Optoelectronic Devices
Microfluidic Biochips

羅丞曜 教授
Flexible Electronics
Flexible Sensors
Photonic Structures