方維倫 清華講座教授
Micro Sensors
Micro Actuators
Micro Testing Technologies

王威智 教授
THz and IR photonics
Amorphism&Metamorphose
Medical Devices

李明蒼 教授 & 科儀中心主任
Heat and Mass Transfer
Renewable Energy
Laser Microfabrication

李銘晃 副教授
Piezoelectric devices
Ultrasonic transducers
RF MEMS circuit design

陳榮順 特聘教授
MEMS
Microsystems
Control

張禎元 清華講座教授 & 工研院機械與機電系統研究所所長
Mechanical Vibrations
Mechatronics
Robotics

曹哲之 副教授
Design and Manufacturing
Multi-disciplinary System
Volumetric 3D Display

葉哲良 清華講座教授
Solar Energy
Optofluidics
Ambient Sensors

劉通敏 清華講座教授
Combustion
Biological Flows
Laser-Based Diagnostics

蔡宏營 清華講座教授 & 國家實驗研究院院長
Nano/Micro Fabrication
Brittle Materials Processing
Patent Analysis

賴梅鳳 教授
NEMS Structures
Optoelectronic Devices
Microfluidic Biochips

羅丞曜 教授
Flexible Electronics
Flexible Sensors
Photonic Structures