白明憲 清華講座教授 & 副系主任
Audio DSP
Electroacoustic Transducer

陳致真 教授
Microfabrication
Diagnostic Instruments
Global Health

陳榮順 特聘教授
MEMS
Microsystems
Control

馮國華 教授
Piezoelectric Thin Film
Electroactive Polymer
Micromachining Sensors

洪健中 教授
Point-of-Care Lab-on-a-Chip
Polymer Nanoactuators
Optical Microsystems

李昇憲 特聘教授
Resonator / Oscillator
Micromechanical Filter
CMOS-MEMS Processes

劉承賢 教授
Photonics
Nano / Microsystem
Bio and Medicine

王培仁 教授 & 科儀中心主任
Intelligent Manufacturing
Nanomaterials Analysis

葉廷仁 特聘教授
Control Theory
Mechatronics System
Modeling and Identification