精密機械包括範圍極廣，在CNC工具機中，例如高轉速、高精度之多軸工具機、機器人；在產業機械中，例如半導體製程與封裝設備之步進式曝光機、化學機械研磨機、電漿蝕刻機、快速熱處理器、離子束加工機、晶圓切割機、黏晶機、自動晶片構裝機、晶圓傳輸系統；在精密檢測設備中，例如雷射量測儀器、精密量具與量規、三次元量床；在精密零組件中，例如精密緻動線性馬達、微小馬達、光學量測零組件、機構暨傳動零組件、精密模具、精密運動平台、精密軸承；在材料中，例如低膨脹係數原材料、智慧型材料；在其他精密機械中，例如PCB 之製程設備(如高速鑽孔機)、DVD光碟機、數位相機、微小機械MEMS、生物晶片生產設備、高科技污染防治設備、醫療保健儀器設備等。

   雖然各精密機械設備功能目的不同，但整體而言，都涉及透過工具相對工件之精密相對運動引發預定之製造程序。機器驅動軸之驅動速度精度及製造程序之掌握決定生產效率，而電腦數值控制(CNC)之定位精度，重複精度從微米到次奈米，工件製造之尺寸長度或表面特徵品質指標也有相對應之發展趨勢。透過共通核心技術知識之學習，包括光機電元件及系統設計方法、精密製造、精密量測、微奈米精密運動與定位、光機電電腦控制系統整合等，本精密機械學程培養具光機電系統整合能力機械設備工業高級創新研發領導人才。

核心課程：

大學部選修課程：

研究所選修課程：